儀器包括導向裝置、測量裝置、驅動裝置、氣源控制裝置、輔助夾具、電腦等。

　　導向裝置:包括主體和氣浮滑座。主體本身是使用優質花崗巖精密加工而成的高精度直角尺。氣浮滑座與主體組成運動副，滑座的每個導向面與主體導向面之間均有氣浮，可以實現無摩擦上下移動。

　　測量裝置:包括高精度測頭和夾持裝置，安裝在滑座上，隨滑座一起移動，測頭采集數據可以實時傳輸給電腦。

　　驅動裝置:包括電機和繞線輪等。繞線輪驅動拉繩牽引滑座上下移動。

　　氣源控制裝置:包括氣源過濾裝置、穩壓裝置和控制閥門等。用以控制氣體壓力和流量的穩定，以保證滑座氣膜厚度的穩定。

　　輔助夾具:用以輔助定位被測件(如刀口形直角尺、平面直角尺等)。

　　電腦:輸入被測件信息、自動采集數據并處理數據結果。

　　打印機:打印輸出結果。

　　其主要用于如下幾個方面的測量:

　　1)檢測尺寸500mm內的00級、0級、1級、2級的各種類型直角尺的垂直度，以及被測面的直線度;

　　2)檢測尺寸至500×500mm方箱的各個工作面相互垂直度和平行度;

　　3)檢測0-500mm范圍內高精度的機械零件的垂直度。

　　這種儀器具有測量精度高、性能穩定、操作及維護方便的優點，但是由于技術難度較大，國內幾乎沒有生產，只有幾家公司在做，目前主要是發達國家在生產。由于國外產品售價高，在我們國內沒有得到普及推廣。國內在檢測垂直度方面主要還是使用傳統的檢測方法，比如光隙法、手動打表法等，這些方法操作過程比較繁瑣，檢測效率也比較低。